• IGX 100 乾式泵浦真空系統

    iGX 乾式真空泵浦系列 為現代乾式泵浦豎立了新的標準,在檢修之間無須維護;這 已經讓它成為世界上最受歡迎的乾式泵浦之一,已有超過 2 萬 部安裝在最先進的 300mm 半導體晶圓廠中。 iGX 應用範圍包括 MicroTIM 工具 銜接及乙太網路連接,讓主要資料能透過網頁檢視, 也提供完整的網路選項,以確保 泵浦的持續供貨。

    iGX 泵浦提供各種不同的 最大速度及系列機型,可滿足從清洗到 中型製程等應用。模組設計讓使用者可以按照各個晶圓廠的需求 設定 iGX 乾式泵浦。體積小巧,提供不同的安裝 選項,包括安裝於工具上、近距離安裝或遠端作業等。

    一般來說,利用 iGX 乾式泵浦技術, 可讓整座晶圓廠節省 40%*的運作成本 (與 iL/iH 乾式泵浦相比)。  

    *根據 一座包含 200 項工具,537 個泵浦 (70% iGX 泵浦,30% iH 泵浦, iGX 配置了定流水閥) 的美國 300mm 晶圓廠


    Standard_Body_Image_iGX_Pumps

  • Applications
    Key Features & Benefits
    Pump Ranges
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

    Learn More about Our History

  • Product Documentation

    Learn more about the iGX product line...

    iGX Dry Pumps Product Brochure

  • FabWorks Obsolescence

    Standard_Callout_Image_Fabworks

    Edwards has obsoleted all FabWorks and pre-FabWorks Equipment Monitoring products on January 15, 2017

    Learn more about FabWorks Obsolescence

  • Sign Up for Our eNewsletter!

    Edwards_pArticles

    Sign Up to start receiving our free, informative Vacuum pArticles eNewsletter for all the latest industry & product news, promotion notifications and more!

    Sign Up Now