• EPX 180及各系列的真空乾式泵浦,可應用於半導體設備

    EPX 系列有助於從事無塵與輕型 半導體加工應用,例如灰化/去光阻與佈植終 站等應用。

    EPX 系列以極度輕小型的套件,提供機台上抽氣功能,帶來格外清淨的真空效果..EPX 泵浦採用獨特且榮獲專利的單軸再生式 Holweck® 泵級結構,具有將大氣壓力排放至托爾極限壓力的能力。

    EPX 泵浦能夠整合在製程機台上或安裝在遠處,可透過模組套件提供增強的性能。整合式 MicroTIM 裝置也可為製程機台提供簡易的通訊連接。



    Standard_Body_Image_EPX

  • Applications
    Key Features & Benefits
    Pump Ranges
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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